大尺寸芯片挑拣,,,,,,,,挑拣晶粒边长0.2mm~15.5mm
兼容8寸、12寸Disc0铁环规格的来料晶圆检测分选
对分选晶粒进行正面、背面以及4个侧面的AOI检测
基于深度进建的缺点检测+传统算法辅助,,,,,,,,参数可自由设定卡控
分列精度高且不变,,,,,,,,X、Y分列误差STD可到5以内,,,,,,,,XY精度误差≤20μm,,,,,,,,角度误差≤1°
效能高,,,,,,,,陆续挑拣CT<200ms(产品尺寸3*3mm)
挑拣成功率≥99.99%(去之表观不良)
最佳Map挑拣法令,,,,,,,,两全产能与抓取正确性,,,,,,,,降低Wrong Sort风险
固晶地位误差自动补正
全自动Wafer/Bin片高低料
可实现不破膜取料,,,,,,,,降低产品危险率
高无尘等级要求Class 10
支持定造化软件开发