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MS-WTW 晶圆检测分选机

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MS-WTW 晶圆检测分选机

MS-WTW 晶圆检测分选设备,,,,,, ,,是一款针对膜对膜,,,,,, ,,集检测、分选与一体的自动化设备,,,,,, ,,具备高取放速度、高固晶精度、高检测精度、高干净度等特点。。。。。来料兼容8寸、12寸DISCO铁环,,,,,, ,,兼容0.2mm*0.2mm~15.5mm*15.5mm 芯粒产品。。。。。

产品征询电话:13811928592(毛总)
产品征询邮箱:jian.mao@incubecn.com
  • 大尺寸芯片挑拣,,,,,, ,,挑拣晶粒边长0.2mm~15.5mm

  • 兼容8寸、12寸Disc0铁环规格的来料晶圆检测分选

  • 对分选晶粒进行正面、背面以及4个侧面的AOI检测

  • 基于深度进建的缺点检测+传统算法辅助,,,,,, ,,参数可自由设定卡控

  • 分列精度高且不变,,,,,, ,,X、Y分列误差STD可到5以内,,,,,, ,,XY精度误差≤20μm,,,,,, ,,角度误差≤1°

  • 效能高,,,,,, ,,陆续挑拣CT<200ms(产品尺寸3*3mm)

  • 挑拣成功率≥99.99%(去之表观不良)

  • 最佳Map挑拣法令,,,,,, ,,两全产能与抓取正确性,,,,,, ,,降低Wrong Sort风险

  • 固晶地位误差自动补正

  • 全自动Wafer/Bin片高低料

  • 可实现不破膜取料,,,,,, ,,降低产品危险率

  • 高无尘等级要求Class 10

  • 支持定造化软件开发

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