Wafer侧兼容8寸以下子母环、6寸以下Disco环,,,,,,,Bin侧支持205 mm 和 195mm 铁环
挑拣晶粒尺寸短边2 mil~45mil
04*06mil尺寸芯片正常分选产能:6.6KK/天(有F标兵,,,,,,,97%稼动率)
固晶精度X、Y≦±15um & 角度≦±3°,,,,,,,STD可达3.5以内
提供多种尺度混分方式,,,,,,,可凭据客户工艺要求提供定造混分方式
软件支持正挑,,,,,,,反挑,,,,,,,反吹,,,,,,,反吸、沉排、混分等多种模式
对特定报警执行自动处置异常和维建流程
提供中控系统服务,,,,,,,可远程操作机台,,,,,,,并实时显示设备状态